마이크로텍



안녕하세요. 마이크로텍입니다.

오늘은 마이크로텍의 비접촉 3차원측정기(화상측정기)의 설치 후기를 전하려고 합니다.

이번 저희를 찾아주신 고객사는 경기도 용인에 위치한 반도체 생산설비에서 핵심 역할을 담당하는 샤워헤드(Shower Head)와 실리콘 링(Silicon Ring)을 전문 생산하는 정밀 가공 기업입니다.

반도체 제조 공정의 고도화가 진행될수록 공정 장비 내부 구성품의 정밀도는 더욱 중요해지는데요.

특히, 이번 고객사와 생산하는 샤워헤드와 실리콘 링은 플라즈마 균일성과 가스 분포 안정성에 직접적인 영향을 미치는 부품이기 때문에 수십에서 수백 개에 달하는 미세 홀의 직경, 형상, 높이 편차를 정확히 관리할 수 있는 고정도는 고기능이 탑재된 비접촉 3차원측정기가 필수적이었습니다.

부품별 측정의 중요성

반도체용 CVD-SiC 샤워헤드

샤워헤드(Shower Head)

샤워헤드는 반도체 공정(CVD, ALD, Dry Etch 등)에서 반응 가스를 웨이퍼에 고르게 분사하고 플라즈마 발생을 안정화시키는 핵심 가스 디스펜서 역할을 합니다.

전극 기능과 가스 분배 기능을 동시에 수행하기 때문에, 가스 균일성 확보와 플라즈마 불안정 방지, 파티클 최소화를 위해 홀의 직경, 위치, 깊이 등 모든 요소의 정밀 측정이 필수입니다.

반도체용 실리콘 링

실리콘 링(Silicon Ring)

실리콘 링은 챔버 내부에서 웨이퍼 주변을 감싸 플라즈마 모양을 안정화시키고 식각/증착 두께의 균일성을 개선하는 소모성 부품입니다.

공정 중 열팽창 계수를 고려한 두께와 높이 관리가 중요하며, 정밀한 높이 측정이 생산성과 불량률을 크게 좌우하게 됩니다.

고객사의 기존 측정 환경과 문제점

해당 고객사는 이미 타사 비접촉 3차원측정기를 운용하고 있었지만, 시간이 지남에 따라 다음과 같은 문제가 지속적으로 발생했습니다.

- 미세 홀 다량 측정 시 측정기 노후로 인한 고장 반발

- 홀 위치별 높이 편차와 복잡한 형상으로 인해 반복 포커싱 필요

- 수많은 측정 좌표로 인한 스테이지 가감속이 잦아 측정시간 증가

- 정확도 및 신뢰성 저하

이러한 문제들로 인해 공정 데이터 관리와 품질 검증에 많은 비효율이 발생했고, 결국 최신 사양의 고정밀 비접촉 3차원측정기 도입이 불가피해졌습니다.

상담부터 측정 시연, 납품까지 One-Stop 대응

고객사에서는 다수의 국내외 측정기 제조사 제품을 장기간 비교·검토하였습니다.

이 과정에서 저희 마이크로텍에도 문의주셨고, 즉시 현황을 파악한 뒤 고객사의 요구사항에 최적화된 모델을 제안해드렸습니다.

처음 상담 단계부터 직감적으로 Mitutoyo Quick Vision Apex 606 Pro + STREAM 기능 조합이 가장 적합하다고 판단하였습니다.

고객사에 말로만 설명하는 것보다는 실제 데이터로 보여드리는 것이 신뢰를 높일 수 있다고 판단하여 상담 당일 마이크로텍 담당자가 직접 측정물을 회수하였고,

이후 고객사 일정에 맞춰 당사 쇼룸에서 고객사와 함께 실측 데모를 진행하였습니다.

시연 후에는 측정 결과 데이터를 PPT로 정리하여 고객사에 제출하여 기존 측정값과 비교할 수 있도록 투명하게 공유했습니다.

측정 정확도와 시연 속도에 크게 만족하신 고객사에서는 즉시 발주 결정을 내려주셨습니다.

- 측정범위 : X600*Y650*250mm

- 측정정도 : 1.5+3L/1000㎛

- 옵션 : 스트림 기능 (STREAM), 트래킹 포커스 (TAF)

·단렌즈 터렛 방식

: 타사 줌렌즈 방식과 달리 정밀 연삭 가공된 단렌즈 터렛은 배율 변경 시에도 선명한 엣지 검출이 가능하여 홀 직경과 형상을 보다 정확하게 측정할 수 있습니다.

·고속 오토 포커싱 & 고정도 Z축

: 미쓰도요 특유의 고성능 오토 포커스와 패턴 포커스는 경면·유리 등 반사도가 높은 소재에서도 신속하고 정확한 포커싱이 가능합니다.

Z축 정밀도 역시 1.5+4L/1000 수준으로 동급 대비 최상위 성능을 자랑합니다.

·스트림 기능(STREAM)

: 이번 납품에서 결정적 역할을 한 기능으로, 스트림은 본체 스테이지 이동과 스트로브 조명을 완벽 동기화하여 카메라가 멈추지 않고 연속으로 측정할 수 있도록 합니다.

자사 실측 결과 기존 방식 대비 최대 80% 측정 시간 단축 효과가 확인되었습니다. (이와 관련한 영상은 하단에서 확인하실 수 있습니다.)

·트래킹 오토 포커스(TAF)

: TAF는 높이 변화가 큰 측정물이라도 레이저로 높이를 자동 추적하여 스테이지가 멈출 필요 없이 연속으로 포커싱을 수행합니다.

홀 직경, 높이 등을 대량으로 측정하는 고객사에 딱 맞는 솔루션이었습니다.

정밀 화상측정기의 성능은 설치 환경에 따라 좌우됩니다. 이번 고객사는 반도체 부품 기업답게 별도의 무진실(Clean Room)과 항온·항습을 갖추고 있어 온도와 습도, 진동, 채광 등이 모두 일정하고 안정적이었습니다.

측정기 이동부터 안착까지, 저희 3차원측정기 전문 도비팀이 안전하고 정확하게 수행하였습니다.

이후, 숙련된 전문 엔지니어가 직접 현장에서 설치, 정도검사 및 사용자 교육을 진행하여 고객사에서 즉시 최적의 측정 환경을 활용할 수 있도록 지원하였습니다.

모든 설치 및 검교정 절차가 체계적으로 완료된 후, 해당 장비는 최종적으로 KOLAS(한국인정기구) 인증까지 마무리되어

신뢰성과 정확성을 공식적으로 입증받았습니다.

반도체 관련 정밀제품을 다루는 고객사 보안 정책상 설치 사진은 일부만 공유 가능한 점 양해 부탁드립니다.

장비 설치 완료 후, 고객사에서 마이크로텍으로 장비 설치 후기를 남겨주셨습니다.

고객사 담당자께서는 정확한 상담과 빠른 대응, 철저한 보안 속에서의 신속한 측정 시연, STREAM과 TAF 기능을 통한 Non-Stop 연속 측정,

기본 측정기 사용법은 물론이고 편리하고 유용한 기능을 실제 제품에 적용해 주는 교육 등 모든 부분에서 큰 만족을 표현해주셨습니다.

기존 측정기와의 비교가 무색할 정도로 측정속도가 빨라졌으며 고정도 측정시 데이터 신뢰도가 무척 향상되었습니다.

무엇보다도 자사 설비의 장점을 부각시키기 보다는 고객의 애로사항와 요청사항을 귀 귀울여 듣고,

면밀히 파악하여 신속하게 대응하는 마이크로텍 담당자에게 놀랐습니다.

또한 여러 제조사 제품과 비교하면서 발생했던 추가 요구사항과 잦은 자료 요청에도

마이크로텍 담당자의 신속하고 정밀한 대응에 큰 신뢰를 느끼셨다고 전해주셨습니다.

향후 추가 장비 도입 시 꼭 다시 연락을 주시겠다는 말씀을 남겨주셨습니다.

장비 설치부터 유지보수까지 철저한 마이크로텍!

정밀 측정기는 한 번 설치하는 것으로 끝나지 않습니다.

운용 환경에 따라 성능 차이가 발생하기 때문에 상담부터 설치, 정도 검사, 인증지원, 유지보수까지

전 과정을 체계적으로 지원하는 파트너가 필요합니다.

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