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MicroTEC

열처리로(Furnace) 튜브 타입 반도체 소재 업체 설치 후기

25.07.04



안녕하세요. 마이크로텍입니다.

오늘은 마이크로텍의 열처리로(Furnace) 튜브타입의 설치 후기를 들려드리도록 하겠습니다.

이번에 튜브 진공 열처리로(Furnace)를 설치한 고객사는 경기도 이천에 위치하고 있는 반도체 핵심부품 및 소재 제조 및 가공업체입니다.

이천시는 SK하이닉스 생산기지가 위치하고 있는 곳인데요. 하지만 단지 이 이유만으로 주목받는 것은 아닙니다. 산업 전반의 구조를 첨단 산업 중심 도시로 재편하고 있을 뿐만 아니라 이를 위한 다양한 인프라 구축과 생태계 조성이 빠르게 이루어지고 있는 지역입니다.

반도체 파크 조성으로 반도체 관련 중소기업, 소재·부품 기업을 유치하고 클러스터화를 추진하고 있습니다. 또한 반도체 공정에 필수적인 고기능성 세라믹 부품의 국산화를 위한 연구·지원 시설을 구축하고 있으며 지역 대학 및 고교와 협력하여 반도체 특화 교육과정을 운영하고, 실습 중심의 맞춤형 인재를 육성하고 있습니다.





마이크로텍의 고객사 역시 SK하이닉스를 중심으로 반도체 산업군이 밀집되어 있는 이천시에 위치하고 있으며, 급변하는 시장 수요에 맞춰 고기능성 열처리 장비의 신속한 납품이 요구되는 상황이었습니다.

고객사는 반도체 소재 생산 공정용으로 사용하기 위한 900~1000℃의 온도의 열처리로를 원하였으며, 진공 상태 유지가 가능하고, 산소 가스를 400~500℃로 가열 후 주입이 가능한 기능을 가진 열처리로를 원하고 있었습니다. 개발 일정으로 인해 1개월 이내에 납품이 필수인 상황이었는데요. 마이크로텍은 고객사의 요구에 맞춤형 전기로를 설계하기로 하였습니다.



열처리로 설비 설치 완료



마이크로텍의 맞춤형 설계 및 제작 과정


마이크로텍은 사전 충분한 상담을 통해 고객사의 요구를 충실히 반영하여 아래와 같은 사양으로 전기 열처리로(Furnace)를 설계하였습니다.

- 튜브 진공 열처리로(Furnace) 채택 : 정밀 공정에 적합

- 진공 시스템가스 프리히터 통합 설치

- 정밀 온도 제어 시스템

- PID 프로그램 방식으로 정확하고 안정적인 열 제어 가능



내부 발열체/단열제 및 튜브 모습



발열체 구성


- 히터 파손 시 전체 교체가 필요한 칸탈 A1방식 대신 유지보수가 용이한 SiC 발열체(원산지: 일본) 적용

- 개별 교체 가능하여 시간·비용 절감 효과

- 플로우메타 내장 : 산소 주입량(LPM) 조절 가능

- 안전장치 내장 : 오버히팅 시 자동 전원 차단



온도 제어 및 안전장치(전기 열처리로 온도제어부 3개, 가스 프리히터용 1개, 가스온도용 1개)



시험가동 및 온도세팅



신속한 납품 및 설치로 고객만족까지



해당 장비의 표준 납기일은 약 60일 정도가 소요됩니다.

하지만 고객사의 개발 일정으로 인해 1개월 이내에 납품이 필수인 상황이었고, 마이크로텍은 25일 만에 열처리로의 제작부터 설치까지 완료하였습니다.

설계, 제작, 품질검사, 운송, 설치까지 전 과정을 빠른 일정속에서도 철저히 관리하였고 설비의 성능과 안전을 위해 전원 확인(3상 4선, 100A 이상의 안정적인 전력공급), 설치 공간 확보 및 수평 맞춤, 설비 테스트 및 안전 점검까지 꼼꼼하게 완료한 후 장비 설치까지 완료하였습니다.





장비 설치 완료 후, 고객사에서 저희 마이크로텍으로 후기를 남겨주셨는데요.

친절하고 전문적인 안내로 상담 내내 편안하게 진행되었고, 열처리로 장비는 온도 제어가 정밀하고,

발열 및 단열 성능이 매우 우수하며, SiC 발열체로 유지보수가 훨씬 수월해졌다고 말씀해주셨습니다.

또한 요구 조건을 꼼꼼하게 반영하여 정확하게 납품해주셔서 만족하였으며,

25일 만에 납품부터 설치 완료까지 이루어져서 개발 일정에도 차질이 없게 해주어 감사하다는 후기를 남겨주셨습니다.





이번 프로젝트는 고객사의 생산 일정, 정밀 요구 조선, 유지보수 효율까지 전방위로 고려한 맞춤형 솔루션으로 이루어졌습니다.

마이크로텍은 앞으로도 고온 열처리 장비에 대한 전문성과 고객 맞춤형 설계를 바탕으로하여 반도체 산업 현장의 생산성과 품질 향상에 기여하도록 하겠습니다.

열전기로 또는 다른 측정장비에 대해 궁금하신 점이 있거나 이번 프로젝트와 유사한 상담이 필요하시다면 언제든지 마이크로텍으로 문의주시기 바랍니다.