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3차원 측정기

3차원 측정기

반도체 소재 생산성 높이는 마이크로텍 열처리 튜브 혁신 사례

26.01.15
1. 반도체 소재 산업의 중심, 이천

1) 첨단 산업 도시로의 재편

이천시는 SK하이닉스 생산 기지를 중심으로 첨단 산업 도시로
빠르게 변화하고 있습니다. 산업 전반의 구조 개편과 함께 관련
인프라 및 생태계 조성이 활발히 진행 중입니다.

2) 반도체 클러스터 조성 및 인재 육성

반도체 파크 조성으로 관련 중소기업 및 소재·부품 기업 유치를
추진하며 클러스터화를 도모하고 있습니다. 또한, 지역 대학과의
협력을 통해 반도체 특화 교육과 맞춤형 인재를 육성하고
있습니다.

2. 고객사의 요구사항 분석

1) 고기능성 열처리 장비의 필요성

SK하이닉스를 중심으로 형성된 반도체 산업군 밀집 지역의
특성상, 급변하는 시장 수요에 맞춰 고기능성 열처리 장비의
신속한 납품이 필수적이었습니다. 고객사는 이를 통해 생산
경쟁력을 확보하고자 했습니다.

2) 구체적인 열처리 공정 요구

고객사는 900~1000℃ 온도 범위에서 작동하며, 진공 상태
유지가 가능한 열처리로를 원했습니다. 또한, 400~500℃로
가열된 산소 가스 주입 기능이 포함되어야 했습니다.

3. 신속 납품을 위한 맞춤형 설계

1) 1개월 이내 납품 목표

개발 일정상 1개월 이내 납품이 필수적이었기에, 신속한 설계 및
제작이 요구되었습니다. 마이크로텍은 고객사의 긴급한 요청에
발맞춰 맞춤형 전기 열처리로 설계를 진행했습니다.

2) 고객 요구사항 완벽 반영

사전 충분한 상담을 통해 고객사의 모든 요구사항을 파악하고,
이를 설계에 완벽하게 반영했습니다. 정밀 공정에 적합한 튜브
진공 열처리로 채택과 함께 통합 시스템 구축이 이루어졌습니다.

4. 최적화된 열처리로 사양

1) 튜브 진공 열처리로 채택

정밀한 온도 제어가 필수적인 반도체 소재 생산 공정에 적합한
튜브 진공 열처리로를 채택했습니다. 이는 공정의 안정성과
재현성을 높이는 데 기여합니다.

2) 통합 시스템 및 정밀 제어

진공 시스템과 가스 프리 히터가 통합 설치되었으며, PID
프로그램 방식을 통한 정밀한 온도 제어 시스템을 적용했습니다.
이를 통해 정확하고 안정적인 열 처리가 가능해졌습니다.

5. 유지보수가 용이한 발열체

1) SiC 발열체 적용의 장점

기존 칸탈 A1 방식과 달리, SiC 발열체는 개별 교체가
가능하여 유지보수가 훨씬 용이합니다. 이는 시간과 비용을
절감하는 효과를 가져옵니다.

2) 수리 용이성 및 효율성 증대

히터 파손 시 전체 교체가 필요한 방식 대신, 개별 교체가
가능한 SiC 발열체는 설비 가동 중단 시간을 최소화하고
유지보수 효율성을 크게 높였습니다.

6. 정밀한 가스 제어 기능

1) 플로우메타 내장

산소 가스의 주입량을 정밀하게 조절할 수 있도록 플로우메타를
내장했습니다. 이를 통해 공정별 최적의 가스 조건을 설정할 수
있습니다.

2) 최적의 소재 물성 구현

정밀한 가스 제어는 반도체 소재의 특성을 최적화하고 원하는
물성을 구현하는 데 필수적입니다. 이는 최종 제품의 품질
향상으로 직결됩니다.

7. 안전을 최우선으로 하는 설계

1) 오버히팅 방지 기능

장비의 안전을 위해 오버히팅 시 자동으로 전원이 차단되는
안전장치를 내장했습니다. 이는 예기치 못한 사고를 예방하고
설비를 보호합니다.

2) 철저한 안전 점검

설비 테스트 및 안전 점검을 포함한 모든 설치 과정에서 안전을
최우선으로 고려했습니다. 이는 설비의 안정적인 운영을
보장합니다.

8. 25일 만의 초고속 납품 및 설치

1) 압도적인 납기 단축

표준 납기 60일의 장비를 단 25일 만에 제작부터 설치까지
완료했습니다. 이는 고객사의 긴급한 개발 일정을 맞추기 위한
마이크로텍의 노력의 결과입니다.

2) 전 과정 철저한 관리

설계, 제작, 품질검사, 운송, 설치에 이르는 전 과정을 빠른
일정 속에서도 철저하게 관리했습니다. 이는 신속성과 품질을
동시에 확보했음을 의미합니다.

9. 고객 만족 후기

1) 정밀한 온도 제어 및 우수한 성능

고객사는 온도 제어의 정밀함과 뛰어난 발열 및 단열 성능에 크게
만족했습니다. SiC 발열체 적용으로 유지보수가 수월해진 점도
높이 평가했습니다.

2) 신속한 납기 및 개발 일정 준수

요구 조건을 정확히 반영한 맞춤형 설비가 25일 만에 납품 및
설치 완료된 것에 대해 감사함을 표했습니다. 이는 개발 일정
차질 없이 프로젝트를 진행할 수 있게 해주었습니다.

10. 미래를 위한 파트너십

1) 전방위적 고려 맞춤형 솔루션

이번 프로젝트는 고객사의 생산 일정, 정밀 요구사항, 유지보수
효율성까지 전방위적으로 고려한 맞춤형 솔루션으로 성공적으로
완료되었습니다.

2) 반도체 산업 생산성 향상 기여

마이크로텍은 앞으로도 고온 열처리 장비에 대한 전문성과 고객
맞춤형 설계를 바탕으로 반도체 산업 현장의 생산성과 품질 향상에
기여할 것입니다.

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