마이크로텍
게시판
3차원 측정기
3차원 측정기
마이크로텍 미쓰도요 비접촉 3차원 측정기로 반도체 품질 혁신을 경험하세요
26.01.23
1. 반도체 부품 정밀 측정의 중요성
1) 샤워헤드의 역할
샤워헤드는 반도체 공정에서 반응 가스를 웨이퍼에 균일하게
분사하는 핵심 부품입니다. 플라즈마 안정화와 파티클 최소화를
위해 홀의 직경, 위치, 깊이 등 정밀한 측정이 필수적입니다.
2) 실리콘 링의 역할
실리콘 링은 챔버 내 웨이퍼 주변을 감싸 플라즈마 모양을
안정시키고 식각/증착 균일성을 개선하는 소모품입니다. 공정 중
열팽창을 고려한 두께 및 높이 관리가 중요하며, 이는 생산성과
직결됩니다.
2. 고객사의 기존 측정 환경 문제점
1) 측정기 노후화로 인한 고장
기존 비접촉 3차원 측정기는 노후화로 인해 잦은 고장이
발생했습니다. 이는 생산성 저하와 장비 가동 중단으로
이어졌습니다.
2) 반복적인 포커싱 및 측정 시간 증가
홀 위치별 높이 편차와 복잡한 형상으로 인해 반복적인 포커싱이
필요했습니다. 또한, 수많은 측정 좌표로 인한 스테이지 가감속은
측정 시간을 크게 증가시켰습니다.
3. 최신 측정기 도입의 필요성
1) 정밀도 요구 증대
반도체 공정의 고도화에 따라 공정 장비 내부 부품의 정밀도가
더욱 중요해지고 있습니다. 특히 샤워헤드와 실리콘 링은 미세
홀의 편차를 정확히 관리해야 합니다.
2) 품질 관리 및 효율성 향상
기존 측정 환경의 비효율성은 공정 데이터 관리와 품질 검증에
많은 문제를 야기했습니다. 고정밀 측정기 도입은 이러한 문제점을
해결하고 품질 신뢰성을 높입니다.
4. 마이크로텍 미쓰도요 606 Pro + STREAM 솔루션
1) 최적의 솔루션 제안
고객사의 요구사항을 면밀히 분석한 결과, 606 Pro 모델과
STREAM 기능의 조합이 가장 적합하다고 판단했습니다. 이는
기존 측정 방식의 한계를 극복할 수 있는 솔루션입니다.
2) 측정 시연을 통한 신뢰 구축
말로만 설명하기보다 실제 데이터를 보여주는 것이 중요하다고
판단했습니다. 고객사 일정에 맞춰 측정물 회수 및 쇼룸에서 실측
데모를 진행하며 정확도와 속도를 입증했습니다.
5. Apex 606 Pro + STREAM 솔루션의 주요 특징
1) 단렌즈 터렛 방식의 정밀 측정
타사 줌렌즈 방식과 달리 정밀하게 가공된 단렌즈 터렛은 배율
변경 시에도 선명한 엣지 검출을 제공합니다. 이는 홀 직경과
형상을 보다 정확하게 측정할 수 있게 합니다.
2) 고속 오토 포커싱 및 고정도 Z축
미쓰도요 특유의 고성능 오토 포커스와 패턴 포커스는 반사도가
높은 소재에서도 신속하고 정확한 포커싱을 지원합니다. Z축
성능은 동급 최고 수준을 자랑합니다.
6. STREAM 기능의 혁신적인 성능
1) 스테이지 이동과 조명의 완벽 동기화
STREAM 기능은 본체 스테이지 이동과 스트로브 조명을
완벽하게 동기화합니다. 이를 통해 카메라가 멈추지 않고 연속으로
측정이 가능하여 측정 시간을 획기적으로 단축합니다.
2) 측정 시간 최대 80% 단축 효과
실측 결과, STREAM 기능은 기존 측정 방식 대비 최대
80%까지 측정 시간 단축 효과를 보였습니다. 이는 대량의 측정
데이터를 신속하게 처리하는 데 크게 기여합니다.
7. 트래킹 오토 포커스 기능
1) 높이 변화에 따른 자동 추적
TAF(트래킹 오토 포커스) 기능은 높이 변화가 큰 측정물이라도
레이저를 통해 높이를 자동 추적합니다. 스테이지가 멈출 필요
없이 연속으로 포커싱을 수행하여 효율성을 높입니다.
2) 홀 직경 및 높이 측정을 위한 최적화
이 기능은 홀 직경, 높이 등 다양한 부분을 대량으로 측정할 때
매우 유용합니다. 끊김 없는 측정을 통해 데이터의 정확성과
연속성을 보장합니다.
8. 상담부터 납품까지 원스톱 서비스
1) 고객 맞춤형 상담 및 제안
고객사는 다수의 제품을 비교 검토한 끝에 마이크로텍 솔루션의
우수성을 인정했습니다. 초기 상담 단계부터 고객사의 니즈를
파악하고 최적의 솔루션을 제안했습니다.
2) 투명한 결과 공유 및 즉각적인 발주
측정 시연 후에는 측정 결과 데이터를 PPT로 정리하여 투명하게
공유했습니다. 측정 정확도와 속도에 만족하신 고객사는 즉시 발주
결정을 내려주셨습니다.
9. 고객 만족도 향상
1) 기존 문제점 해결
노후화된 측정기의 고장, 반복적인 포커싱, 증가된 측정 시간
등의 문제를 해결했습니다. 이는 생산성 향상과 품질 관리 강화로
이어졌습니다.
2) 고정밀 측정기의 도입 효과
정밀 가공 기업으로서 고객사의 요구에 맞는 고정밀 비접촉 3차원
측정기를 성공적으로 도입했습니다. 이는 최첨단 반도체 부품
생산에 필수적인 요소입니다.
10. 미래 지향적인 측정 솔루션
1) 끊임없는 기술 발전
마이크로텍은 지속적인 기술 개발을 통해 고객에게 최상의 측정
솔루션을 제공합니다. 반도체 산업의 발전에 발맞춰 더욱 혁신적인
제품을 선보일 것입니다.
2) 파트너십 강화
앞으로도 고객사와 긴밀한 협력을 통해 상호 발전을 추구할
것입니다. 마이크로텍은 신뢰할 수 있는 측정 파트너로서 함께
성장해 나갈 것입니다.
마이크로텍 마이크로텍
1) 샤워헤드의 역할
샤워헤드는 반도체 공정에서 반응 가스를 웨이퍼에 균일하게
분사하는 핵심 부품입니다. 플라즈마 안정화와 파티클 최소화를
위해 홀의 직경, 위치, 깊이 등 정밀한 측정이 필수적입니다.
2) 실리콘 링의 역할
실리콘 링은 챔버 내 웨이퍼 주변을 감싸 플라즈마 모양을
안정시키고 식각/증착 균일성을 개선하는 소모품입니다. 공정 중
열팽창을 고려한 두께 및 높이 관리가 중요하며, 이는 생산성과
직결됩니다.
2. 고객사의 기존 측정 환경 문제점
1) 측정기 노후화로 인한 고장
기존 비접촉 3차원 측정기는 노후화로 인해 잦은 고장이
발생했습니다. 이는 생산성 저하와 장비 가동 중단으로
이어졌습니다.
2) 반복적인 포커싱 및 측정 시간 증가
홀 위치별 높이 편차와 복잡한 형상으로 인해 반복적인 포커싱이
필요했습니다. 또한, 수많은 측정 좌표로 인한 스테이지 가감속은
측정 시간을 크게 증가시켰습니다.
3. 최신 측정기 도입의 필요성
1) 정밀도 요구 증대
반도체 공정의 고도화에 따라 공정 장비 내부 부품의 정밀도가
더욱 중요해지고 있습니다. 특히 샤워헤드와 실리콘 링은 미세
홀의 편차를 정확히 관리해야 합니다.
2) 품질 관리 및 효율성 향상
기존 측정 환경의 비효율성은 공정 데이터 관리와 품질 검증에
많은 문제를 야기했습니다. 고정밀 측정기 도입은 이러한 문제점을
해결하고 품질 신뢰성을 높입니다.
4. 마이크로텍 미쓰도요 606 Pro + STREAM 솔루션
1) 최적의 솔루션 제안
고객사의 요구사항을 면밀히 분석한 결과, 606 Pro 모델과
STREAM 기능의 조합이 가장 적합하다고 판단했습니다. 이는
기존 측정 방식의 한계를 극복할 수 있는 솔루션입니다.
2) 측정 시연을 통한 신뢰 구축
말로만 설명하기보다 실제 데이터를 보여주는 것이 중요하다고
판단했습니다. 고객사 일정에 맞춰 측정물 회수 및 쇼룸에서 실측
데모를 진행하며 정확도와 속도를 입증했습니다.
5. Apex 606 Pro + STREAM 솔루션의 주요 특징
1) 단렌즈 터렛 방식의 정밀 측정
타사 줌렌즈 방식과 달리 정밀하게 가공된 단렌즈 터렛은 배율
변경 시에도 선명한 엣지 검출을 제공합니다. 이는 홀 직경과
형상을 보다 정확하게 측정할 수 있게 합니다.
2) 고속 오토 포커싱 및 고정도 Z축
미쓰도요 특유의 고성능 오토 포커스와 패턴 포커스는 반사도가
높은 소재에서도 신속하고 정확한 포커싱을 지원합니다. Z축
성능은 동급 최고 수준을 자랑합니다.
6. STREAM 기능의 혁신적인 성능
1) 스테이지 이동과 조명의 완벽 동기화
STREAM 기능은 본체 스테이지 이동과 스트로브 조명을
완벽하게 동기화합니다. 이를 통해 카메라가 멈추지 않고 연속으로
측정이 가능하여 측정 시간을 획기적으로 단축합니다.
2) 측정 시간 최대 80% 단축 효과
실측 결과, STREAM 기능은 기존 측정 방식 대비 최대
80%까지 측정 시간 단축 효과를 보였습니다. 이는 대량의 측정
데이터를 신속하게 처리하는 데 크게 기여합니다.
7. 트래킹 오토 포커스 기능
1) 높이 변화에 따른 자동 추적
TAF(트래킹 오토 포커스) 기능은 높이 변화가 큰 측정물이라도
레이저를 통해 높이를 자동 추적합니다. 스테이지가 멈출 필요
없이 연속으로 포커싱을 수행하여 효율성을 높입니다.
2) 홀 직경 및 높이 측정을 위한 최적화
이 기능은 홀 직경, 높이 등 다양한 부분을 대량으로 측정할 때
매우 유용합니다. 끊김 없는 측정을 통해 데이터의 정확성과
연속성을 보장합니다.
8. 상담부터 납품까지 원스톱 서비스
1) 고객 맞춤형 상담 및 제안
고객사는 다수의 제품을 비교 검토한 끝에 마이크로텍 솔루션의
우수성을 인정했습니다. 초기 상담 단계부터 고객사의 니즈를
파악하고 최적의 솔루션을 제안했습니다.
2) 투명한 결과 공유 및 즉각적인 발주
측정 시연 후에는 측정 결과 데이터를 PPT로 정리하여 투명하게
공유했습니다. 측정 정확도와 속도에 만족하신 고객사는 즉시 발주
결정을 내려주셨습니다.
9. 고객 만족도 향상
1) 기존 문제점 해결
노후화된 측정기의 고장, 반복적인 포커싱, 증가된 측정 시간
등의 문제를 해결했습니다. 이는 생산성 향상과 품질 관리 강화로
이어졌습니다.
2) 고정밀 측정기의 도입 효과
정밀 가공 기업으로서 고객사의 요구에 맞는 고정밀 비접촉 3차원
측정기를 성공적으로 도입했습니다. 이는 최첨단 반도체 부품
생산에 필수적인 요소입니다.
10. 미래 지향적인 측정 솔루션
1) 끊임없는 기술 발전
마이크로텍은 지속적인 기술 개발을 통해 고객에게 최상의 측정
솔루션을 제공합니다. 반도체 산업의 발전에 발맞춰 더욱 혁신적인
제품을 선보일 것입니다.
2) 파트너십 강화
앞으로도 고객사와 긴밀한 협력을 통해 상호 발전을 추구할
것입니다. 마이크로텍은 신뢰할 수 있는 측정 파트너로서 함께
성장해 나갈 것입니다.
마이크로텍 마이크로텍
