마이크로텍

1. 반도체 부품 정밀 측정의 중요성

1) 샤워헤드의 핵심 역할

샤워헤드는 반도체 공정에서 반응 가스를 웨이퍼에 균일하게
분사합니다. 또한 플라즈마 발생을 안정화하는 중요한 기능을
수행합니다. 가스 균일성과 플라즈마 안정성을 위해 홀의 직경,
위치, 깊이 등 모든 요소의 정밀한 측정이 필수적입니다.

2) 실리콘 링의 역할 및 중요성

실리콘 링은 챔버 내부에서 웨이퍼 주변을 감싸 플라즈마 모양을
안정화합니다. 식각 및 증착 두께의 균일성을 개선하는 데
기여하는 소모성 부품입니다. 공정 중 열팽창 계수를 고려한
두께와 높이 관리가 중요하며, 이는 생산성과 불량률에 직접적인
영향을 미칩니다.

2. 기존 측정 환경의 문제점

1) 측정 장비 노후화로 인한 문제

고객사는 기존 비접촉 3차원 측정기 사용 시, 장비 노후화로
인한 고장이 잦았습니다. 특히 다수의 미세 홀을 측정할 때
이러한 문제가 두드러졌습니다.

2) 측정 효율 저하 및 정확도 문제

홀의 복잡한 형상과 위치로 인해 반복적인 포커싱이 필요했습니다.
또한 많은 측정 좌표로 인한 잦은 스테이지 가감속은 측정 시간을
증가시켰습니다. 이로 인해 정확도 및 신뢰성 저하가
발생했습니다.

3. 새로운 측정 솔루션 도입의 필요성

1) 공정 데이터 관리의 비효율

기존 측정 환경의 문제점들은 공정 데이터 관리와 품질 검증에 큰
비효율을 야기했습니다. 정확하고 일관된 데이터 확보가 어려워
생산성 향상에 걸림돌이 되었습니다.

2) 고정밀 측정기 도입의 불가피성

고도화되는 반도체 제조 공정의 요구사항을 충족하기 위해서는 최신
사양의 고정밀 비접촉 3차원 측정기 도입이 필수적이었습니다.

4. 마이크로텍 미쓰도요 솔루션 제안

1) 고객사 맞춤형 솔루션 판단

고객사의 측정 요구사항을 면밀히 검토한 결과, 마이크로텍의
Apex 606 Pro와 STREAM 기능 조합이 가장
적합하다고 판단했습니다. 이를 통해 고객사의 다양한 측정 문제를
해결할 수 있습니다.

2) 실질적인 데이터 기반의 솔루션 제시

말로만 설명하는 대신, 실제 측정물을 직접 회수하여 고객사와
함께 쇼룸에서 측정 시연을 진행했습니다. 이를 통해 실제
데이터로 솔루션의 성능을 입증했습니다.

5. 측정 시연 및 결과 공유

1) 투명한 데이터 비교 분석

측정 시연 후, 측정 결과 데이터를 PPT로 정리하여 고객사에
제출했습니다. 기존 측정값과의 비교 분석을 통해 솔루션의
정확성과 효율성을 명확히 보여주었습니다.

2) 고객사의 즉각적인 만족 및 발주 결정

고객사는 측정 정확도와 시연 속도에 대해 크게 만족했습니다. 그
결과, 즉시 발주 결정을 내려주셨습니다.

6. Apex 606 Pro + STREAM 솔루션의 주요 장점

1) 높은 측정 정도 및 넓은 측정 범위

Apex 606 Pro는 X600Y650Z250mm의 넓은 측정
범위를 제공합니다. 또한 1. 5+3L/1000㎛의 높은 측정
정도로 정밀한 측정이 가능합니다.

2) 정밀한 단렌즈 터렛 방식

타사 줌렌즈 방식과 달리 정밀하게 가공된 단렌즈 터렛은 배율
변경 시에도 선명한 엣지 검출을 지원합니다. 이를 통해 홀
직경과 형상을 더욱 정확하게 측정할 수 있습니다.

7. 고성능 오토 포커싱 및 Z축 기술

1) 경면 및 유리 소재에서의 신속 정확한 포커싱

미쓰도요 특유의 고성능 오토 포커스와 패턴 포커스는 경면이나
유리처럼 반사도가 높은 소재에서도 빠르고 정확한 포커싱을
보장합니다. 이는 다양한 재질의 부품 측정에 유리합니다.

2) 동급 대비 최상위 Z축 성능

Z축 1. 5+4L/1000 수준의 높은 성능을 자랑합니다.
이는 동급 측정기 대비 최상위 수준으로, 높이 측정의 정밀도를
크게 향상시킵니다.

8. STREAM 기능의 혁신적인 측정 시간 단축

1) 스테이지 이동과 스트로브 조명의 완벽 동기화

STREAM 기능은 본체 스테이지 이동과 스트로브 조명을
완벽하게 동기화합니다. 이를 통해 카메라가 멈추지 않고
연속적으로 측정이 가능합니다.

2) 최대 80% 측정 시간 단축 효과

자체 실측 결과, STREAM 기능은 기존 방식 대비 최대
80%의 측정 시간 단축 효과를 제공하는 것으로 확인되었습니다.
이는 생산성 향상에 크게 기여합니다.

9. 트래킹 오토 포커스 (TAF) 기능

1) 높이 변화가 큰 측정물에서의 연속 포커싱

TAF 기능은 높이 변화가 큰 측정물이라도 레이저로 높이를 자동
추적합니다. 스테이지가 멈추지 않고 연속적인 포커싱이 가능하여
측정 효율을 높입니다.

2) 홀 직경, 높이 등 대량 측정에 유리

이 기능은 홀 직경, 높이 등 다양한 측정 요소를 빠르고
정확하게 측정해야 할 때 매우 유용합니다. 복잡하고 다양한
형상의 부품 측정에 적합합니다.

10. 반도체 산업에서의 비접촉 측정기 활용

1) 고정밀 부품 생산의 필수 요소

반도체 제조 공정의 고도화로 인해 핵심 부품의 정밀도가 더욱
중요해지고 있습니다. 비접촉 3차원 측정기는 이러한 고정밀 부품
생산에 필수적인 역할을 합니다.

2) 품질 향상 및 불량률 감소 기여

정확하고 신뢰성 있는 측정 데이터는 제품 품질을 향상시키고
불량률을 감소시키는 데 직접적으로 기여합니다. 이는 반도체
산업의 경쟁력 강화로 이어집니다.

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